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    無塵室施工


    無塵室施工設計時應考濾的五個特性

    許多了解無塵室施工的人都贊同,第一次擁有無塵室施工的擁有者,應使用較好之C/R建筑或工程設計公司或了解建筑C/R設計之建筑承包商若假設他們不了解,則必會浪費一大筆不必要花的錢,故選擇一建造C/R的公司也是非常重要的。

      (l)耐久性;(2)成本;(3)適應性;(4)可維護性;(5)清洗。

      (1)耐久性:

      無塵室施工要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。

      (2)清洗:

      在制藥和生物工學工業,無塵室施工的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個最重要的企業。

      (3)成本:

      微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。

      (4)適應性:

    一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將最初的設計定型。

      (5)維護性:

      對無塵室施工C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板,其包含HEPAULPA等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區域的小房間,曾有人說:若建造之預算因某種原因被限制,除了少數的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須精確。

      對C/R而言,其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會引起塵埃,而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂,但并不是所有C/R的地板,都會覆蓋,乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式,而全面層流都是沖孔式。

      乙烯基有一作用即脫氧,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果,而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴,但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

      對于半導體工業而言,無塵室是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學藥品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破裂了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。

      另外,C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板,這類型的天花板優點為,放置方式并沒有嚴格的限制。

      C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成,但必須在表層涂上一層保護層,否則亦會腐蝕,它并不容易電鍍,而在表層涂上的保護層會變得易碎,很容易剝落,但若選擇高質量的不銹鋼,就不必涂上保護層7,而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增,以及美觀,但必須涂上一抗紫外線的障礙物,且可以視覺互通,較不會產生幽閉恐懼癥。


     

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